为保证滤层反冲洗后具有足够的清洁度，又能接近均质状态，目前理想的办法是采用气、气水、水的三段式气水反冲洗技术。反冲洗是为恢复滤池正常工作所采用的反向水流冲洗滤层的操作过程。

    操作时，水流经底部排水系统反向通过滤池，以冲洗掉滤料中的堵塞物质，并减少产生水头损失的因素。不同类型的滤池具有不同的反冲强度与反冲时间，对于快滤池反冲强度为36～54m/h，反冲洗时间为5～10min，滤层膨胀率达40%～50%。另外，在采用离子交换法处理水或废水时，以及树脂再生操作前也需先进行反冲洗，其目的在于松动树脂层和去除树脂层中的杂质、破碎颗粒等。

    在滤池充水并在滤床层面上保有一定水深条件下先进行单独气冲，一方面通过改性纤维球滤料颗粒间相互磨擦使改性纤维球滤料上粘附的污泥脱落，一方面达到使滤层搅动为均质的目的。经过一段时间的气冲后，不停气且气冲强度无须改变的同时加入水冲，水冲强度很小，只要能使脱落的污泥在合宜的时间内升至排水槽即可。气水联合反冲是能否使滤层洁净的关键。单独气冲时脱落的污泥在此阶段因气冲保持滤层流化状态下加上水冲被有效地托至上层。第三阶段停止气冲，改性纤维球滤料回落为固定床，使脱落的污泥滞留在上层，随后的水冲只是漂洗过程，主要是将上层的高浓度泥水托出滤池，同时进一步清除滤层中剩余的脱落污泥，使滤层达到较彻底的净化。最后的水冲洗应遵循二条原则，一是不使均质滤层状态受到破坏，二是按冲洗要求要能够使滤层中剩余的脱落污泥被有效地去除。

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